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翼菲科技(06871)午后股价拉升,现涨14.23%,报21.60港元,成交额2854.39万港元。
近日,据翼菲科技官微消息,翼菲科技推出Lobster系列晶圆机器人,覆盖4/6/8/12寸晶圆传输场景,可广泛应用于晶圆上下料、工艺设备对接、洁净搬运等关键环节。该系列产品依托公司自研运动控制系统、精密机械结构及多类型末端执行方案,实现0.1mm级高精度定位,兼顾高速、稳定、洁净与柔性适配能力。此外,翼菲科技晶圆机器人已通过德国TÜV莱茵SEMI S2/S8/F47权威认证,其中RW-A型号达到ISO 1级超洁净度。
目前,翼菲科技相关半导体自动化装备已服务中芯国际等头部晶圆厂,并进入至纯科技等产业链核心客户体系,同时深度配套多家国产半导体设备龙头:为芯源微供应寻边器、为邑文配套ALD倒片机、向比亚迪交付晶圆机械手、为迈为提供EFEM设备,上述合作客户均已形成稳定复购,产品覆盖晶圆搬运、上下料、洁净检测、光刻配套等多个应用场景。
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责任编辑:卢昱君
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